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半导体微量光子检测显微镜 微光显微镜是捕获半导体器件缺陷或失效点发射 微量光子的一种无损检测设备。在电激励作用下，电 子-空穴对或高能热载子以光子的形式释放出多余动 能。根据此原理，利用高增益低噪声的相机就能精确 定位到缺陷位置。EMMI系统C主要适用于PN结漏电、氧化层崩溃、 静电放电破坏、闩锁效应、碰撞电离和雪崩击穿等多 种物理场景。
TEL：13764885152
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